生產潔凈廠房的特點及其要求

隨著科學技術的發(fā)展，許多產品及其研制開發(fā)過程中都需要潔凈的生產環(huán)境，在一些研究試驗中也需要潔凈或相關受控環(huán)境。其中微電子產品、醫(yī)藥產品等生產工藝的發(fā)展尤為迅速，大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD液晶顯示器的生產是微電子工業(yè)發(fā)展最快的產業(yè)，研發(fā)周期短，產品生產工藝和生產規(guī)模都發(fā)展極快，集成電路12in晶圓生產工廠在國內已建成多家，芯片線寬10nm的產品已在國內批量生產，國內已建成多家8代、10代或10.5代TFTLCD液晶顯示器生產工廠。醫(yī)藥生物制品生產工藝日新月異，由于藥品生產質量與人民健康密切相關，若生產過程受到微粒和微生物污染，一旦進入人體將直接影響人體健康，因此藥品生產環(huán)境控制要求十分嚴格，日益受到人們的高度關注。

這些生產潔凈廠房的主要特點是:對空氣潔凈度的要求十分嚴格，微電子工廠中的芯片生產核心區(qū)要求空氣潔凈度等級達到ISO1~3級，控制粒徑小于0.01um，甚至更小的粒徑。生產品生產過程的連續(xù)性、自動化傳輸以及生產速率的提高，要求產品用場地具有大空間大體量，一個潔凈生產區(qū)的面積大且不可分割。如TFT-LCD液晶顯示器生產線的一個潔凈生產區(qū)面積可達數(shù)萬平方米，我國近年投產的10.5代TFT-LCD液晶顯示器生產用潔凈室的面積超過10X10⁴m²。芯片生產用潔凈廠房的潔凈生產區(qū)面積達33000m²，潔凈廠房高度為17.0~31.0m;薄膜晶體管液晶顯示器件(TFT-LCD)生產用潔凈廠房的潔凈區(qū)面積達94000m²，潔凈廠房高度為20~33.0m。這類潔凈廠房的潔凈生產區(qū)由于產品生產過程的連續(xù)性和自動化傳輸要求，一般是不可分割的，因此對廠房布置和消防疏散設計。并且這類潔凈廠房均采用單向流潔凈室，在潔凈生產區(qū)的上部、下部設置上技術夾層、下技術夾層，有的還采用2個潔凈生產區(qū)疊加布置，且各技術夾層還不能共用，因此潔凈生產區(qū)的上技術夾層為其送風層，下技術夾層為其回風層。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、無塵廠房等的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

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